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EUV能成就中国芯之梦吗?

2018年05月23日17:55:46 本网站 我要评论(2)字号:T | T | T
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中兴通讯受美国政府制裁一案,为大陆高端芯片的自主拉起警报,大陆自官方到民间无不立刻加大芯片研发的投资力度。日前有消息指,长江存储与中芯国际在近日突破海外封锁,先后从荷兰艾司摩尔(ASML)公司订购了两台总值近两亿美元的高端光刻机。



光刻机又称曝光机,是芯片制程最关键步骤“光刻”的核心机器。ASML则是全球高端光刻机的霸主,在该领域拥有全球90%的市占率。

每日经济新闻网报导,长江存储从ASML订购的一台光刻机已抵达武汉,这台光刻机价值7,200万美元。此外,外传中芯国际也向ASML订购一台价值高达1.2亿美元的EUV(极紫外线)光刻机,预计于2019年初交货。

由于国际间有个“瓦圣纳协定”,该协定禁止向非缔约国出售敏感性高科技技术,其中包括向大陆出售高端光刻机技术,前述两笔交易因而引人注目。但报导指,ASML发言人向日经新闻驳斥该传闻,表示该公司对全球各地包括大陆客户一视同仁,对大陆晶圆厂商的出口不受协定限制。

美国政府4月中宣布,禁止美国公司向中兴通讯出售包括芯片等零组作后,外界普遍认为芯片将成为大陆科技崛起的致命伤。

业界专家指出,中芯国际在市场上仍落后于领先者两至三代技术,购买到目前最先进的EUV光刻机,虽然不能保证100%成功,但至少显示该公司自主研发的决心和动力。该光刻机一旦安装完成,将会大幅缩短工艺时程,并让厂商有能力尝试生产更复杂的高精度芯片。

上月26日,国家主席习近平到武汉视察时表示,要加快在芯片技术上取得重大突破。随后即有消息传,国家集成电路产业投资基金(俗称大基金)已接近完成1,200亿元人民币(下同)的二期募资,预计该笔资金将有更大比例的金额投入芯片设计等环节。

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